Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе наноструктурированного поликристаллического кремния / А. Мишанин, А. Родионов, С. Козин, И. Баринов. - Текст : непосредственный // Компоненты и технологии = Components & Technologies. - СПб. - 2009. - № 9. - с. 29-32