Полное описание

Кузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, Б. А. Билалов. - М. : Издат. Дом МИСиС, 2008 (М.). - 155 с. : ил. - Библиогр.: с. 155. - 250 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. технологии материалов электроники

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76.002
81.13.30	620.3

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Нанотехнологии

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Кушхов, А. Р.
Билалов, Б. А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-08/50118)

Шифр в сводном ЭК: fc1770328a106cb4710d5f360ce5d116

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽