Полное описание

Лазерографический комплекс для микротехнологии и эксперименты по лазерно-стимулированным процессам на поверхности полупроводников / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.С.Ковалев и др. - М. : [б. и.], 1991. - 27 с. : ил. - (Препринт ; 91-19/223). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.373.8(04)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИК
Доп. точки доступа:
Ахманов, А.С.
Гусев, В.Ю.
Ковалев, А.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/45578/91-19/223)

Шифр в сводном ЭК: f910d8b104b7090dd5597c925fb44387

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽