Полное описание

Вытягивание широкого пучка из нового ионного источника распылительного типа при помощи электрического зеркала. - 11 с. : ил. . - Пер.ст. Broad Beam Extraction From a New Sputteringtype Ion Source Using an Electric Mirror / M. Matsuoka, Ono из журн.: // Journal of Vacuum Science and Technology. - 1990. - Vol. A8, N 3. - P.1840-1843. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 14 назв.
ГРНТИ 55.22.19 + 55.20.99

Рубрики:
Металлизация в вакууме

Аннотация: при ионной металлизации
Доп. точки доступа:
Matsuoka, M.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06920000224)

Шифр в сводном ЭК: f4e839a8e0c590d81fde99483df68a82

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽