Полное описание

Gatzen, H. H. Micro and Nano Fabrication : tools and Processes / H. H. Gatzen, V. Saile, J. Leuthold. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2015. - on-line. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-662-44395-8#about. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-662-44395-8. - Текст : электронный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4-047.84
81.13.30	621.31-022.532-047.84

Кл.слова (ненормированные): ИНСТРУМЕНТЫ -- МИКРОПРОИЗВОДСТВО -- МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- НАНОПРОИЗВОДСТВО -- НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ПРОЦЕСС
Доп. точки доступа:
Saile, V.
Leuthold, J.

https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-662-44395-8#about

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-796243)

Шифр в сводном ЭК: f369af86523b7ddb73bfd8d2c34b6587

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания