Полное описание

Capacitors integrated with a dielectric made of implanted silicon / P.Zukowski,J.Partyka,P.Wegierek,T.Maczka. - Dubna : [s. n.], 1996. - 6 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-96-440). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(04)
45.35	621.319.4:621.382.002(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство
Конденсаторы полупроводниковые -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- производство
Доп. точки доступа:
Zukowski, P.
Partyka, J.
Wegierek, P.
Maczka, T.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Е14-96-440)

Шифр в сводном ЭК: f066999e4eae52b2e2d015ed32ca60bf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽