• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Гвоздев, В. В. Исследование магнетронных распылительных систем с жидкометаллическим катодом с целью увеличения производительности и снижения энергозатрат процесса катодного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.14 / В. В. Гвоздев. - М., 1999. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 16

    ГРНТИ УДК
    55.22.19621.793.182(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-8551)

    Шифр в сводном ЭК: ecfd419afaa2ea96a51a6191ef990930



    Заказ фрагмента документа ₽