Полное описание

Lindsay, J. W. Effect of surface species concentrations and temperature on diamond film morphology in inductively-coupled RF plasma CVD / J.W.Lindsay,J.M.Larson,S.L.Girshick. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1997. - 7 p. : 6 l.ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 97/8). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.6-7

ГРНТИ	УДК
29.19	549.211:539.216.2

Рубрики:
Алмазные пленки

Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗНАЯ ПЛЕНКА
Доп. точки доступа:
Larson, J.M.
Girshick, S.L.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/97/8)

Шифр в сводном ЭК: e07caacb83e61ea5b3b4e46dfb2febef

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽