Полное описание

Юнин, П. А. Развитие методов вторично-ионной масс-спектрометрии и рентгеновской дифрактометрии для исследования многослойных полупроводниковых гетероструктур : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / П. А. Юнин. - 2016. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-20. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Кл.слова (ненормированные): ВТОРИЧНО-ИОННАЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар16-4809)

Шифр в сводном ЭК: d59295d6e5948550ff77404465311475

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽