Полное описание

Падеров, В. П. Исследование границы раздела диэлектрик-полупроводник с целью разработки плазмохимического процесса для формирования МДП структур на соединениях А В : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / В. П. Падеров. - М., 1994. - 23 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники (техн.ун-т). Библиогр.: с.22-23(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0353)

Шифр в сводном ЭК: d415d586b22ee6bc42a2257bd9d70248

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽