Полное описание

Многопараметровая диагностика микро- и наноструктур / Д. И. Биленко [и др.] ; Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - Саратов : Изд-во Сарат. ун-та, 2015. - 133 с. : ил. - (Материаловедение и технология новых материалов). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 129-131 (35 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.09.30	620.22-022.532
47.33.37	621.3.049.76

Рубрики:
Наноструктурные материалы
Микроэлектроника

Доп. точки доступа:
Биленко, Д.И.
Вениг, С.Б.
Терин, Д.В.
Белобровая, О.Я.
Галушка, В.В.
Саратовский гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-15/32421)

Шифр в сводном ЭК: d0804be25a5c2330e13146ad79af1e04

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽