Полное описание

Springer series in materials science / ed. R. Hull [et al.]. - Berlin [etc.] : Springer, 19 - . - Текст : непосредственный.
109 : Reactive sputter deposition / ed.: D. Depla, S. Mahieu. - 2008. - XVIII, 570 p. : ill. - Библиогр. в конце частей. Указ.: с. 563-570

ГРНТИ	УДК
29.19	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Доп. точки доступа:
Hull, R.\ed.\
Depla, D.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего -20091212 : ХР (-20091213), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/15692/109)

Шифр в сводном ЭК: ca09cba62a63836cd797da2210c0570a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽