Полное описание

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / А.А. Сазонов, Р.В. Корнилов, Н.П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова. - М. : Высш. шк., 1991. - 334 c. : ил. - 11000 экз. - Текст : непосредственный.
Авт.указ.на обороте тит.л.Библиогр.: с.332 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.5-52

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Автоматизация

Кл.слова (ненормированные): АВТОМАТИЗАЦИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Сазонов, А.А.
Корнилов, Р.В.
Кохан, Н.П.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-91/92141)

Шифр в сводном ЭК: c3945d5d2ac841665b8ff16ad994b85b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽