Полное описание

Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах : сб. ст. / Отв. ред. А.В.Раков. - М. : Наука, 1995. - 165 c. : ил. - (Труды / Ин-т общей физики ; т.49). - Тираж не указ. - ISBN 5-02-000828-1. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос. АН. Библиогр. в конце ст

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76:658.562
55.19.01	621.9.015.08

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Параметры -- Измерение
Качество обработанной поверхности

Доп. точки доступа:
Раков, А.В.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14313/49)

Шифр в сводном ЭК: b707a7194a8f8cd835db17cd30459d36

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽