Полное описание

Интеграционные проекты СО РАН / Российская академия наук. Сибирское отделение. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. АН., 20 - . - В надзаг. также: Рос. АН. Сиб. отд-ние, Ин-т катализа им. Г.К. Борескова, Ин-т химии тв. тела и механохимии, Ин-т теорет. и прикл. механики. - Текст : непосредственный.
Вып. 31 : Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах / В. А. Гриценко [и др.]; отв. ред. А.Л. Асеев, В. А. Гриценко. - 2011 (Новосибирск). - 158 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. - 400 экз. - ISBN 978-5-7692-1183-6. - ISBN 978-5-7692-0669-6

Содержание:

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382-03
	ББК
	22.37+32.844.1

Рубрики:
Диэлектрики
Полупроводниковые приборы -- Материалы

Аннотация: Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)x(Al2O3)1 - x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNy и нитрида Si3N4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.
Доп. точки доступа:
Гриценко, В.А.
Елисеев, А.П.
Иванов, М.В.
Игуменов, И.К.
Канчев, В.В.
Российская академия наук. Сибирское отделение

Имеются экземпляры в отделах: всего -20111222 : ПНТ (-20111222)
Свободны: ПНТ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ФО26

http://znanium.com/catalog/document/?pid=924886&id=15860

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/18015/31)

Шифр в сводном ЭК: b51c4b6a5af39f76999336df686c7ad8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания