Полное описание

RTP 2001 : 9th Intern. conf. on advanced thermal processing of semiconductors, Sept.25-29, 2001, Hilton Anchorage, Alaska / Ed. D. P. DeWitt. - [Piscataway, NJ] : IEEE, 2001. - 326 p. : ill. - (IEEE publications / Inst. of electrical a. electronics engineers ; 01EX513). - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Термическая обработка -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
DeWitt, D.P.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/6736/01EX513)

Шифр в сводном ЭК: b019030d3e392e8f93fd483fc04899b8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽