Полное описание

Изюмская, Н. Ф. Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Н. Ф. Изюмская. - Черноголовка, 1999. - 15 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 14-15(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-4097)

Шифр в сводном ЭК: af395b0cd960fb8447d3ed75bb8f6cd5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽