Полное описание

Сунь Чанку. Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / Сунь Чанку. - СПб, 1994. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Санкт-Петербург.гос.ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.: с.17 (2 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-1957)

Шифр в сводном ЭК: a4bd96d481a0f6f70838b7c125ac205e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽