Полное описание
> Новиков, Ю. А. Измерение диаметра электронного зонда РЭМ, ПРЭМ и электронных литографов / Ю. А. Новиков, А. В. Раков, И. Ю. Стеколин. - М. : [б. и.], 1995. - 23 c. : ил. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 19(1995)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
29.35.43 | 621.385.833.2(04) |
Рубрики:
Микроскопы электронные
Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОННЫЕ МИКРОСКОПЫ
Доп. точки доступа:
Раков, А.В.
Стеколин, И.Ю.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/19(1995))>
Шифр в сводном ЭК: a04350b8bf427f12a9dd4033fe1c9ed6
Заказ фрагмента документа ₽