Полное описание
> Behrisch, R. Sputtering by particle bombardment / R. Behrisch, W. Eckstein ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer , 2007. - on-line. - (Topics in applied physics, ISSN 0303-4216 ; 110). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-44502-9. - ISBN 978-3-540-44502-9. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
29.19.21 | 539.2:539.16 |
Кл.слова (ненормированные): БОМБАРДИРОВКА ЧАСТИЦАМИ -- РАСПЫЛЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Eckstein, W.
SpringerLink (Online service)
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-44502-9
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 539.2:539.16/B39-583479)
>
Шифр в сводном ЭК: 96d2d3dbdab17f8886dfcba5c8730d35
Просмотр издания