Полное описание

Лыньков, Л. М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа. - Минск : [б. и.], 1999. - 205 с. : ил. - ISBN 985-444-036-2. - Текст : непосредственный.
В надзаг.Белорусский гос.ун-т Информатики и Радиоэлектроники.Библиогр.:с.197-205

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776

Рубрики:
Электронолитография
Фотолитография
Рентгенолитография
Ионолитография

Доп. точки доступа:
Прищепа, С.Л.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/20840)

Шифр в сводном ЭК: 94b2674368d9c72cd53598f97eff8b77

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽