Полное описание

International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th ; 1996 ; Atlanta,Ga). Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th; 1996; Atlanta,Ga) ; Ed. S. W. Pang. - New York, NY : Amer.vacuum soc., 1996. - 3413-4545 p. p. : ill. - (Journal vaacum science & technology.Ser.B ; 1996,Vol.14,N 6). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7(062)
47.13.33	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ЭЛЕКТРОННО-ИОННАЯ ОБРАБОТКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ
Доп. точки доступа:
Pang, S.W.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873/1996,Vol.14,N 6)

Шифр в сводном ЭК: 85b628363aa006683ddc1006f2de2b2e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽