Полное описание

Шатунов, В. В. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : автореф. дис. ... канд. хим. наук: 02.00.08 / В. В. Шатунов. - 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (8 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Гос. НИИ химии и технологии элементоорган. соединений (ГНЦ РФ "ГНИИХТЭОС")

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-2853)

Шифр в сводном ЭК: 84ea7a89f41802d15ab009c348cdac20

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽