Полное описание

Дикевич, А. Я. Разработка и исследование интегрального сорбционно-емкостного датчика для контроля относительной влажности в чистых технологических помещениях микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Я. Дикевич. - М., 1997. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 18-19(18 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9:621.38(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-0142)

Шифр в сводном ЭК: 7ab94b4a3c28103c0c8970197446c633

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽