Полное описание
> Slowinski, B. Deep ion implantation: advantages and current problems / B.Slowinski. - Dubna : [s. n.], 1998. - 4 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-98-379). - 300 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
55.20.15 | 621.793.184(04) |
Рубрики:
Ионное внедрение
Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Е14-98-379)>
Шифр в сводном ЭК: 66187022a7e606e4dce1c6cac788e5a4
Заказ фрагмента документа ₽