Полное описание

Бжихатлов, К. Ч. Электронная оже-спектроскопия в диагностике элементов, приборов и устройств микро- и наноэлектроники : учебное пособие / К. Ч. Бжихатлов, В. К. Люев, А. А. Канаметов ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова. - Нальчик : КБГУ, 2019. - 59 с. : ил. - Библиогр.: с. 59. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562(076.5)
	621.384-022.532:658.562(076.5)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Технический контроль -- Учебники и пособия
Наноэлектронные устройства -- Технический контроль -- Учебники и пособия

Доп. точки доступа:
Люев, В.К.
Канаметов, А.А.
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова (Нальчик)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/75441)

Шифр в сводном ЭК: 6416fe6efb5aafb898054200ab8d0f45

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽