Полное описание

Fischer, M. Entwicklung und Charakterisierung elektrostatisch auslenkbarer Torsionsspiegel aus Polysilizium : Diss. / M.Fischer. - Stuttgart, 1997. - 101 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.94-101

ГРНТИ	УДК
50.09.39	681.587-181.4(043)

Рубрики:
Исполнительные механизмы -- Миниатюризация
Дефлекторы

Кл.слова (ненормированные): ДЕФЛЕКТОР -- ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/19998)

Шифр в сводном ЭК: 5e203923a90cbada4aaf8a0606981c0e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽