Полное описание

Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - III,103 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5671). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.100-103

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Both, A.
Bacher, W.
Heckele, M.
Ruprecht, R.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5671)

Шифр в сводном ЭК: 5b01246114d7772c51c1623d1d162fc9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽