Полное описание

Урицкий, В. Я. Технологический контроль процесса производства интегральных микросхем : текст лекций / В.Я.Урицкий. - СПб : [б. и.], 1996. - 47 с. : ил. - 105 экз. - ISBN 5-7629-0069-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб.гос.электротехн.ун-т.Библиогр.:с.46 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.3.049.77.002:658.562
47.33.31

Рубрики:
Интегральные схемы -- Технический контроль

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-96/37067)

Шифр в сводном ЭК: 581344abc9d30c1804e619586069bffb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽