Полное описание

Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : [монография] / А. С. Климов [и др.] ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Изд-во ТУСУРа, 2017. - 188 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце разд. - 200 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.31	621.315.61-047.84

Рубрики:
Диэлектрики -- Обработка электронная

Доп. точки доступа:
Климов, А.С.
Медовник, А.В.
Юшков, Ю.Г.
Тюньков, А.В.
Зенин, А.А.
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-17/51825)

Шифр в сводном ЭК: 52d679e8f9f4a82a958a8b32ec9aeb01

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽