Полное описание

Юнкин, В. А. Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микроструктур с широким диапазоном аспектных отношений : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. А. Юнкин. - Черноголовка, 1998. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 19-20(15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.29.39	681.7.015(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-4184)

Шифр в сводном ЭК: 510026e6c8170b58418828614a520147

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽