Полное описание
> Atomic Layer Deposition for Semiconductors / ed. C. S. Hwang ; Ed. C. S. Hwang. - New York, NY [etc.] : Springer sci. + Business Media, 2014. - on-line. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4614-8054-9. - Загл. с экрана. - ISBN 978-1-4614-8054-9. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
29.19.31 | 537.311.322:539.23 |
Кл.слова (ненормированные): ОСАЖДЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
Доп. точки доступа:
Hwang, C.S.\ed.\
https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4614-8054-9
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-859860)>
Шифр в сводном ЭК: 4ea5c8dc64bb2d2f4c4a8ce35963ea44
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания