Полное описание

Нанотехнологии в микро- и наноэлектронике: получение, исследование, моделирование : учебное пособие / И. А. Аверин [и др.]; под редакцией И. А. Аверина, В. А. Мошникова ; Министерство образования и науки РФ, Пензенский государственный университет. - Пенза : Изд-во ПГУ, 2018. - 78 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 77-78 (16 назв.). - 53 экз. - ISBN 978-5-907018-99-0. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76-03(076.5)
	621.384-022.532-03(076.5)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы -- Учебники и пособия
Наноэлектронные устройства -- Материалы -- Учебники и пособия

Доп. точки доступа:
Аверин, И.А.
Гузь, А.В.
Мараева, Е.В.
Мошников, В.А.
Пермяков, Н.В.
Пензенский государственный университет

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/61941)

Шифр в сводном ЭК: 46a4f66189ecd5f98cdc915904a45212

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽