Полное описание

Integrated circuit metrology,inspection,and process control III : proc.of the meet.27-28 Feb.1989,San Jose(Ca) / Ed. K. M. Monaham ; Ed. K. M. Monaham. - Bellingham(Wa) : [s. n.], 1989. - X,535 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1087). - ISBN 0-8194-0122-6. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:с.533-535

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.77.002:658.562(063)
47.13.11

Рубрики:
Интегральные схемы -- Технический контроль -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Monaham, K.M.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/1087)

Шифр в сводном ЭК: 43cef2c94eb585a5bebdd40bc70266a1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽