Полное описание

Кеменов, В. Н. Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.27.07 / В. Н. Кеменов. - М., 2000. - 42 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 39-42 (53 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38.002.5(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-9774)

Шифр в сводном ЭК: 3bcae05abcec2395669de68fdcdfd717

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽