Полное описание

Schwizer, J. Force sensors for microelectronic packaging applications / J. Schwizer, M. Mayer, O. Brand; ed.: H. Baltes, H. Fujita [et al.]. - Berlin [etc.] : Springer, 2005. - VIII, 178 p. : ill. - (Microtechnology and MEMS, ISSN 1439-6599). - Библиогр.: с. 165-174. Указ.: с. 175-178. - ISBN 3-540-22187-5. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.72

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Монтаж -- Оборудование

Доп. точки доступа:
Mayer, M.
Brand, O.
Baltes, H.\ed.\
Fujita, H.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/27387)

Шифр в сводном ЭК: 388b02dcbd24fabcd21e3bcf94c70573

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽