Полное описание

Паршин, В. А. Разработка технологии прецизионных тонкопленочных резисторов для трехмерных гибридных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. А. Паршин. - Минск, 1990. - 21 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Минский радитехн. ин-т. Библиогр.:с. 20-21(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.59.33	621.316.849.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-06600)

Шифр в сводном ЭК: 2f81c2062be16c16eb769bcca122546f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽