Полное описание

Изюмов, М. О. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / М. О. Изюмов. - Ярославль, 2001. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 19-20(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002:621.794(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-445)

Шифр в сводном ЭК: 233a7b5fc8a053d6825c138f71d0a485

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽