Полное описание

Рау, Э. И. Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.01 / Э. И. Рау. - М., 1993. - 26 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос. АН, ЦКБ уникального приборостроения. Библиогр.:с.21-26 (60 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:620.179(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-3589)

Шифр в сводном ЭК: 19013f83085edcb4a1623027e225735c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽