Полное описание

Чжан Хай-Ин. Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Чжан Хай-Ин. - СПб., 1993. - 12 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петербург.гос. электротехн.ун-т. Библиогр.: с.12(2назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:621.794(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-6444)

Шифр в сводном ЭК: 1832b91ba9aa4a4bae499b9689908b1d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽