Полное описание

Леженин, В. П. Физико-технологическое моделирование ионно-легированных МОП-транзисторных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. П. Леженин. - Воронеж, 1998. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 18-19 (15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.323.001.57(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-3392)

Шифр в сводном ЭК: 1569698d76c1a8244ba2c79b7b3126c7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽