Полное описание

Soane, D. S. Polymers in microelectronics: fundamentals and applications / D.S.Soane,Z.Martynenko. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1989. - XIV,308 p. p. : ill. - ISBN 0-444-87290-6. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:c.299-308

ГРНТИ	УДК
47.09.51	621.3.049.76.002.3

Рубрики:
Полимеры -- Применение в микроэлектронике

Кл.слова (ненормированные): ПОЛИМЕР
Доп. точки доступа:
Martynenko, Z.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/21485)

Шифр в сводном ЭК: 0e3e52a43c51dc33dd7f6b8cdcccd26a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽