Полное описание

Смирнов, А. Д. Перспективные направления микротехнологии : учеб. пособие / А.Д.Смирнов,В.Я.Урицкий. - СПб. : [б. и.], 1997. - 32 с. : ил. - 50 экз. - ISBN 5-7629-0198-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. Библиогр.: с.31 (11 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Урицкий, В.Я.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-97/40494)

Шифр в сводном ЭК: 09c5dd1d859d1345c70664b4492ee811

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽