Юнкин В.А. Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микроструктур с широким диапазоном аспектных отношений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. А. Юнкин, 1998. - 20 с. - Текст : непосредственный.