Уткин А.Б. Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10,05.13.16 / А. Б. Уткин, 1999. - 17 с. - Текст : непосредственный.