• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Дунаев, А. В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев. - 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.3.049.76-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-7395)

    Шифр в сводном ЭК: a274aed32d109d4911ac6a5df6606579



    Заказ фрагмента документа ₽