• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Семенова, О. В. Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза : специальность 05.03.01 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / О. В. Семенова. - Красноярск, 2000. - 23 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 21-23(20 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.14.07621.3.049.77.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР01-2792)

    Шифр в сводном ЭК: 365d0580cf1f2674cf8750b7303165e0



    Заказ фрагмента документа ₽