• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Савин, В. О. Спектроскопия отраженных электронов и микротомография слоистых структур в растровой электронной микроскопии : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / В. О. Савин. - М., 2002. - 15 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 13-15 (12 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.01.81621.3.049.76:620.179(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-9392)

    Шифр в сводном ЭК: f928954493269c1d441da696a7981239



    Заказ фрагмента документа ₽