Приложение
для AndroidПолное описание
Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg. - Karlsruhe : [s. n.], 1993. - 94 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; 5262). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.88-94
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.13 | 621-181.4(043) | |
| 55.13 | 621.3.049.76.002(043) |
Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
Kadel, K.
Stern, G.
Brossardt, R.
Schomburg, W.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/5262)
Шифр в сводном ЭК: aef257f0cb4fd5d4eedf631102bbd460
Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6960 : Magnetically driven micro ball valve fabricated by multilayer adhesive film bonding : Diss. / C.Fu,R.Truckenmueller,Z.Rummler,W. K.Schomburg, 2003. - II,71 p. p. - Текст : непосредственный.
Schomburg W.K. Introduction to Microsystem Design / W. K. Schomburg, 2015 r=on-line. - Текст : электронный.Rogge T. Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung : Diss. / T.Rogge,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,123 S. S. - Текст : непосредственный.Wulff K. Hybride Drucksensoren aus Kunststoff und Glas nach dem AMANDA-Verfahren : Diss. / K.Wulff,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,88 S. S. - Текст : непосредственный.Deflagration to detonation transition experiments with hydrogen-air mixtures in shock tube and obstacle array geometries / A.Veser,W.Breitung,G.Engel и др., 1999. - 48 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6922 : Analyse des Mikro-Heissprageverfahrens / M.Worgull,M.Heckele,W.K.Schomburg, 2003. - IV, 119 S. 119 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7058 : Werkzeugentwicklung fur das Heisspr@agen beidseitig mikrostrukturierter Formteile : Diss. / H.Dittrich, M.Heckele, W. K.Schomburg, 2004. - III, 70 S. - Текст : непосредственный.Vitt M. Dichtemessungen in flussigen Medien mit Mikromembransensoren : Diss. / M.Vitt,W.K.Schomburg, 1998. - III,127 S. S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6801 : Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen : Diss. / R.Truckenm@:uller,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2003. - II,90 S. S. - Текст : непосредственный.Entwicklung von Mikromembranpumpen von der seriengerechten Konzeption bis zur Anwendung : Diss. / B.B@:ustgens,W.Bacher,W.Menz,W.K.Schomburg, 1996. - VI,92 S. S. - Текст : непосредственный.Rummler Z.M. Entwicklung und Optimierung eines Mikroentgasers fur die HPLC unter dem Aspekt der industriellen Herstellbarkeit : Diss. / Z.M.Rummler,W.K.Schomburg, 1999. - IV,57 S. S. - Текст : непосредственный.Rapp R. Konzeption,Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik : Diss. / R.Rapp,W.K.Schomburg,P.Bley, 1993. - 98 S. - Текст : непосредственный.Durchflusssensoren aus Kunststoff fur sehr kleine Volumenstrome auf der Basis des AMANDA-Verfahrens : Diss. / D.Dittmann,Z.Rummler,K.Schlote-Holubek,W.K.Schomburg, 2002. - 102 S. - Текст : непосредственный.Fahrenberg J. Entwicklung eines aktiven Ventilsystems in LIGA-Technik fur die minimalinvasive Therapie / J.Fahrenberg,D.Maas,W.K.Schomburg, 1995. - 107 S. - Текст : непосредственный.Entwicklung, Herstellung und Test von aktiven Mikroventilen fur pneumatische Anwendungen : Diss. / CGoll,WBacher,WMenz,W.K.Schomburg, 1997. - 89 S. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Kapetanios E. PROMISE:a preliminary study of a scientific information system for MIPAS satellite experiment / E. Kapetanios, 1993. - 78 p. - Текст : непосредственный.Jordan T. Kopplung der elektromagnetischen und strukturdynamischen Probleme beim Fusionsreaktorblanket / T. Jordan, 1993. - 163 S. - Текст : непосредственный.Frederichs G. Kunstliche Intelligenz im Hartetest der kommerziellen Praxis / G. Frederichs, M. Rader, 1993. - 108 S. - Текст : непосредственный.Panitz H.-J. The lagrangian particle model traveling version 92/3: model description and users' guide / H.-J. Panitz, B. Vogel, H. Vogel, 1994. - 83 p. - Текст : непосредственный.Buche T. Supraleitung im homogenen Elektronengas : сборник научных трудов / T. Buche, 1991. - 112 S. - Текст : непосредственный.Jodicke B. Zur Modenrangigkeit von Hochleistungsgyrotrons mit rotationssymmetrischen Arbeitsmoden / B. Jodicke, 1989. - 134 S. - Текст : непосредственный.Huber S. Untersuchungen zur Wechselwirkung von Lithiumorthosilikat mit Wasserdampf und Wasserstoff : сборник научных трудов / S. Huber, 1994. - 118 S. - Текст : непосредственный.Bestrahlungsprogramm SAMARCANDE : монография / M. Rieth, B. Dafferner, H. Ries, O. Romer, 1994. - 117 S. - Текст : непосредственный.Eibl J. Zur bautechnischen Machbarkeit eines alternativen Containments fur Druckwasserreaktoren - Stufe 3 - / J. Eibl, 1994. - Pag.var. - Текст : непосредственный.Zimmer K.W. Towards a unified description of light ion fusion cross section excitation functions / K. W. Zimmer ; Ed. H. Rebel, 1994. - 36 p. - Текст : непосредственный.Semmle C. Aufbau eines Messsystems zur Bestimmung der Parameter des Millimeterwellen-Ausgangsstrahls von Hochleistungsgyrotrons / C. Semmle, 1994. - 67 S. - Текст : непосредственный.Verbesserung der Betriebsfuhrung technischer Anlagen durch den Einsatz von Methoden der Kunstlichen Intelligenz : сборник научных трудов / H. Keller, T. Weinberger, E. Kugele, 1992. - 79 S. - Текст : непосредственный.Baumann W. Simultane Rauchgasreinigung durch Elektronenstrahl der Teststand AGATE-2 : сборник научных трудов / W. Baumann, H. -R. Paur, 1991. - 91 S. - Текст : непосредственный.Frohner F.H. Tests of the 238-U+n evaluation for JEP-2 in the unresolved resonance region / F. H. Frohner, 1991. - 17 p. - Текст : непосредственный.Khuen E.Q. Photoakustische Spurenbestimmungen von anorganischen Schadstoffen / E. Q. Khuen, W. Faubel, H. J. Ache, 1991. - 65 S. - Текст : непосредственный.Dransfeld P. Entstehung und Verbrauch von Stickoxiden wahrend der Verbrennung / P. Dransfeld, 1991. - 34 S. - Текст : непосредственный.Konditionierung radioaktiver Abfallosungen durch Zementierung / P. Vejmelka, G. Rudolph, W. Kluger, R. Koster, 1990. - 80 S. - Текст : непосредственный. Bertram-Berg A. Verfahren zur kontinuierlichen Gadoliniumbestimmung in den salpetersauren Stromen der Kernbrennstoff-Wiederaufarbeitung / A. Bertram-Berg, 1991. - 152 S. - Текст : непосредственный.Rimikis G. Einflussgrossen und Methoden zur Optimierung der supraleitenden und mechanischen Eigenschaften von Chevrelphasendrahten / G. Rimikis, 1991. - 100 S. - Текст : непосредственный.Dalle Donne M. CHF-Kfk-3:A critical heat flux correlation for triangular arrays of rods with tight lattices / M. Dalle Donne, 1991. - 31 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКраснова Е.В. Организация эксперимента в технологии металлов / Е. В. Краснова, 1996. - 134 с. - Текст : непосредственный.Физика и химия обработки материалов / Российская АН. Ин-т металлургии и материаловедения им. А.А.Байкова(Российская АН. Отд. физико-химии и технологии неорган. материалов). - Журнал выходит с 1967г. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Оборудование машиностроительного производства / О. С. Моряков, 2015. - 252 с. - Текст : непосредственный.Адаскин А.М. Материаловедение (металлообработка) : учебное пособие / А. М. Адаскин, В. М. Зуев, 2008. - 286 с. - Текст : непосредственный.Кресик Д.А. Автоматизация технологической подготовки производства корпусных деталей при обработке на многофункциональном оборудовании с ЧПУ / Д. А. Кресик, 2008. - 24 с. - Текст : непосредственный.Разработка технологических процессов в машиностроении / Л. В. Лебедев, И. В. Шрубченко, А. А. Погонин [и др.], 2004. - 176 с. - Текст : непосредственный.Основы технологии машиностроительного производства : учебник : в 2 ч. / В. У. Мнацаканян [и др.]. Ч. 2, 2011. - 363 с. - Текст : непосредственный.Островский Ю.А. Технологическое обеспечение синтеза структур процессов изготовления деталей в машиностроении : специальность 05.02.08 "Технология машиностроения " : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Ю. А. Островский, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный.Зубарев Ю.М. Способы получения заготовок деталей современного машиностроительного производства : учеб. пособие. Ч. 1, 2006. - 76 с. - Текст : непосредственный.Мутылина И.Н. Технология конструкционных материалов : учебное пособие / И. Н. Мутылина, 2007. - 166 с. - Текст : непосредственный.Технологические процессы в машиностроении : учебное пособие / А. Г. Схиртладзе, Г. А. Мелетьев, С. Г. Ярушин, Е. Н. Трембач, 2007. - 541 с. - Текст : непосредственный.Прогрессивные технологические методы в машиностроении : сборник / Кишиневский политехнический ин-т им. С. Лазо, 1991. - 127 с. - Текст : непосредственный.Основы технологии машиностроения / Э. Л. Жуков, О. Э. Жуков, Н. К. Рассохина, Л. М. Триндюк, 1996. - 144 c. - Текст : непосредственный.Болдырев А.М. Сварочные работы в строительстве и основы технологии металлов / А. М. Болдырев, А. С. Орлов, 1994. - 431 c. - Текст : непосредственный.Блюменштейн В.Ю. Проектирование и производство заготовок : Учеб. пособие:В 2 ч. Ч. 1, 1994. - 162 с. - Текст : непосредственный.Блюменштейн В.Ю. Проектирование и производство заготовок : Учеб. пособие:В 2 ч. Ч. 2, 1994. - 177 с. - Текст : непосредственный.Взаимозаменяемость (в вопросах и ответах) : Учеб.пособие / Капустянский М.А.,Хлебунов А.Ф.,Калмаков Л.В.,Кошлякова И.Г. Ч. 1 : Гладкие цилиндрические сопряжения.Система ЕСДП, 1995. - 49 с. - Текст : непосредственный.Левшин Г. Е. Основы технологии машиностроения : выставочные материалы / Г. Е. Левшин, 2013. - 154 с. - Текст : непосредственный.Технологические процессы машиностроительного производства / В. Б. Моисеев, К. П. Таранцева, А. Г. Схиртладзе, 2002. - 266 с. - Текст : непосредственный.Вороненко В.П. Проектирование машиностроительного производства / В. П. Вороненко, Ю. М. Соломенцев, А. Г. Схиртладзе, 2002. - 347 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыГолод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Евстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный.Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный.Леонов Ю.С. Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук / Ю. С. Леонов, 1990. - 30 с. - Текст : непосредственный.Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный.Русакова Ж.П. Развитие методических основ электронной ОЖЭ-спектроскопии для анализа поверхности диэлектрических объектов : специальность 05.11.09 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / Ж. П. Русакова, 1996. - 15 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный.Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный.Коньшин И.В. Пространственное распределение внедренных атомов при имплантации ионов средних энергий в полиметилметакрилат : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / И. В. Коньшин, 1997. - 20 с. - Текст : непосредственный.Шибко А.Н. Влияние импульсной термообработки на структурные и фазовые превращения в пленках Ti, V, Zr : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Н. Шибко, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Илясов В.Ф. Разработка принципов построения и создание автоматизированных поверочных средств измерения малых расходов газа для микроэлектроники : специальность 05.13.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. Ф. Илясов, 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.Радаев А.А. Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. А. Радаев, 1994. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽