• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Леонов, Ю. С. Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук / Ю. С. Леонов. - М., 1990. - 30 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: АН СССР,Физ-технол.ин-т. Библиогр.: с. 30(8назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-3632)

    Шифр в сводном ЭК: c80e313029f76550cdd1669993fe5f34



    Заказ фрагмента документа ₽